1979 |
成立美国Fortrend Engineering公司,专门研究晶圆隔离技术与传送自动化系统。 |
1989 |
从beta测试开始晶圆交换设备的半导体制造。 |
1995 |
取得HP200mm Pod Load/Unload(Plus500)的专利。 |
1998 |
結合HP200mm Pod Load/Unload设计,开发出PLM。 |
1999 |
与台湾富创得科技公司(Fortrend Taiwan)合资经营。 |
2000 |
台湾富创得科技公司建立PLUS-500的生产技术。 |
2001 |
开发150mm SMIF Arm、300mm FOUP Opener、RFID tracking system、 IR- |
2002 |
开发300mm EFEM、300mm PR baking oven system、POS 150、PLS 200、POS 200/POS200R. |
2003 |
开发300mm EFEM for Spin Etcher、300mm polyimide baking oven system、Plus 500G2-Ret for reticle handling(与美国富创得合作)、 Generic Data Acquisition System for III-V Compound manufacturing (与MIRL和Hezawave合作). |
2004 |
開發200mm Pod inspection tool (SPICA200)、E-Rack for wafer SMIF Pod 與OLED substrate. |
2005 2006 |
开发E-Rack for reticle SMIF Pod与Mask Box. 富创得科技(沈阳)有限公司成立。 |
2008 |
5月1日富创得科技分割半导体及光电部门,由美国Fortrend Engineering并购成立台湾富创得工程。 |
2010 |
5月取得 英国 Thermco 炉管,台湾独家代理权 |
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2010 |
300mm Sorter 正式上市并获得订单 |
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2010 |
于国内制程设备商-G公司,合作开发湿支撑自动化设备。 |
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2011 |
3月于 Semicon China 2011 发表 4 ports wafer sort Lamina 3400 |
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