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设备型号：WS-650Mz-23NPPB
美国 Laurell 原装进口高精度匀胶旋涂仪由旋涂系统、配套 装置、控制系统和分
析软件组成。
二 处理机台
1 腔体尺寸
高度为 287 毫米,腔体内径长 241 毫米;
2 旋涂尺寸
额定正常最大承载直径 6 英寸(150 毫米)的晶圆片或 125x125 毫米的方片,参考
样品:厚度为 1mm 的标准晶圆片(注:密度小的材质。可以厚度和直径更大一些);
3 腔体材质
固态天然聚丙烯材料制造的涂敷处理腔体;喷嘴中部采用 特殊特氟龙材质
4 样片托盘
45mm 密封口径真空托盘（适合直径范围 50`150mm 的基底使用）；
10mm 密封口径转接托盘（适合直径范围 15~50mm 的小型基底使用）；
5 晶圆去边
带回吸功能的 30ml 注射针筒；
滴胶可重复精度：＜1ml；
可调节 EBR 去边针筒角度；
6 旋转控制
Mz 型高精度旋涂用马达
转速范围:50~12000RPM （注 50RPM 是最小稳定转速）
最大加速度:13000RPM/S;
转速误差:＜±0.5RPM /8000RPM NIST 标准认证；
