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Semco退火炉

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所在地: 北京
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最后更新: 2017-07-13 11:57
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公司基本资料信息
 

品牌:Semco

产地:法国   

SEMCO JETLIGHT 50系统是一个简单稳定的热处理系统,适合于广泛最大尺寸为直径2英寸的基片材料和结构的快速热低温退火(RTA),(如电子级硅、钢铁、玻璃、单晶硅、III-V族化合物、II-VI族化合物、锗、超导体、陶瓷等等)。焚化炉配有一个管状石英反应室,因此可兼容处理最大长度为150毫米的3 D样片。

法国RTP系列的快速退火炉由法国Semco公司专业开发制造,法国工艺保障。温度均匀度≤1%,处理的最大尺寸可以达到300mm,最高温度可以达到1200摄氏度,处理过程可以在真空环境或者惰性气体的环境中执行,做多可支持4路进气,可以用到的气体包含N2,O2,N2H2,Ar和H2。

基于PID处理控制器的Eurotherm可以存储20套程序,每套程序可以支持高达100个步骤的设定,带USB2.0的接口。

包含UniSoft 软件,与微软Windows操作系统兼容。通过该软件,通过链接电脑可以非常方便地实现程序编辑以及数据记录。

Semco的退火炉主要几款型号:

1) JetLight 50

产品特点:

1、基片从前面载入/取出;

2、红外卤素灯管加热,冷却采用风冷(低噪音水平,无需压缩空气);

3、石英腔体,腔体冷却采用水冷,冷壁设计,双层不锈钢;

 

产品技术参数:

1、腔体尺寸:直径50mm×深度150mm;

2、红外卤素灯:6支; 最大功率:15KW;

3、红外卤素灯冷却方式:风冷;

4、温度范围:室温~1000 ℃;

5、温度精度:±1℃;

6、温度控制:快速数字PID控制;

8、热电偶:K型热电偶;

9、工艺气体气路配质量流量计:压力:2bars;

10、尺寸:500*500*400mm (W*D*H);

 

2JetFirst 100C

基片从前面载入/取出;

JetFirst Series

JetFirst 100C

JetFirst 200C

JetFirst 300C

处理最大样品尺寸

100mm

200mm

300mm

最高温度()

室温~1200/s

室温~1200/s

室温~1200/s

工艺气体

1~4

1~4

1~4

红外卤素灯

18支,最大功率:34KW

18支,最大功率:34KW

18支,最大功率34KW

红外卤素灯冷却方式

风冷

风冷

风冷

温度控制

PID数控

PID数控

PID数控

温度精度

±1

±1

±1

热电偶

K型热电偶

K型热电偶

K型热电偶

机器外观

台式机

台式机

立式机

设备尺寸(LxDxH)

850 x 800 x700mm

850 x 800 x700mm

1000 x 850 x1500mm

 

3JetStar

也可以用于污染物处理;

基片从上面载入/取出;

最大可支持的尺寸:直径为300mm的Wafer或者300mm×300mm的基片;

最高温度高达1000摄氏度;

升温速率为40K/sec;

降温速率分段控制:从1000℃到400℃,降温速率优于200K/sec。从400℃到100℃最大降温速率控制在30K/sec;

联系人:叶盛 在线联系:
手    机: 电    话:
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