品牌：Semco
产地：法国
SEMCO JETLIGHT 50系统是一个简单稳定的热处理系统，适合于广泛最大尺寸为直径2英寸的基片材料和结构的快速热低温退火(RTA)，（如电子级硅、钢铁、玻璃、单晶硅、III-V族化合物、II-VI族化合物、锗、超导体、陶瓷等等）。焚化炉配有一个管状石英反应室,因此可兼容处理最大长度为150毫米的3 D样片。
法国RTP系列的快速退火炉由法国Semco公司专业开发制造，法国工艺保障。温度均匀度≤1%，处理的最大尺寸可以达到300mm，最高温度可以达到1200摄氏度，处理过程可以在真空环境或者惰性气体的环境中执行，做多可支持4路进气，可以用到的气体包含N2，O2，N2H2，Ar和H2。
基于PID处理控制器的Eurotherm可以存储20套程序，每套程序可以支持高达100个步骤的设定，带USB2.0的接口。
包含UniSoft 软件，与微软Windows操作系统兼容。通过该软件，通过链接电脑可以非常方便地实现程序编辑以及数据记录。
Semco的退火炉主要几款型号：
1） JetLight 50
产品特点：
1、基片从前面载入/取出；
2、红外卤素灯管加热，冷却采用风冷（低噪音水平，无需压缩空气）；
3、石英腔体，腔体冷却采用水冷，冷壁设计，双层不锈钢；
产品技术参数：
1、腔体尺寸：直径50mm×深度150mm；
2、红外卤素灯：6支； 最大功率：15KW；
3、红外卤素灯冷却方式：风冷；
4、温度范围：室温~1000 ℃；
5、温度精度：±1℃；
6、温度控制：快速数字PID控制；
8、热电偶：K型热电偶；
9、工艺气体气路配质量流量计：压力：2bars；
10、尺寸：500*500*400mm (W*D*H)；
2）JetFirst 100C
基片从前面载入/取出；
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JetFirst Series |
JetFirst 100C |
JetFirst 200C |
JetFirst 300C |
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处理最大样品尺寸 |
100mm |
200mm |
300mm |
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最高温度(℃) |
室温~1200℃/s |
室温~1200℃/s |
室温~1200℃/s |
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工艺气体 |
1~4路 |
1~4路 |
1~4路 |
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红外卤素灯 |
18支，最大功率：34KW； |
18支，最大功率：34KW； |
18支，最大功率34KW； |
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红外卤素灯冷却方式 |
风冷 |
风冷 |
风冷 |
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温度控制 |
PID数控 |
PID数控 |
PID数控 |
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温度精度 |
±1℃ |
±1℃ |
±1℃ |
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热电偶 |
K型热电偶 |
K型热电偶 |
K型热电偶 |
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机器外观 |
台式机 |
台式机 |
立式机 |
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设备尺寸(LxDxH) |
850 x 800 x700mm |
850 x 800 x700mm |
1000 x 850 x1500mm |
3）JetStar
也可以用于污染物处理；
基片从上面载入/取出；
最大可支持的尺寸：直径为300mm的Wafer或者300mm×300mm的基片；
最高温度高达1000摄氏度；
升温速率为40K/sec；
降温速率分段控制：从1000℃到400℃，降温速率优于200K/sec。从400℃到100℃最大降温速率控制在30K/sec；
