日本住友化工2英寸蓝宝石衬底技术参数
| 项目 | 规格 |
| 直径 | 50.8+-0.05 |
| 定位边长 | 16.0+-1.0 |
| 厚度 | 430+-10um |
| 晶向 |
C轴(0001)0.2°+-0.05° |
| 总厚度偏差 | <=5um |
| 翘曲度 | +-7um |
| 定位边方向 | A轴(11-20)0.0°+-0.20° |
| 表面粗糙度 | <=0.3nm |
| 背面粗糙度 | 0.7+-0.2um |
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日本住友化工2英寸蓝宝石衬底技术参数
| 项目 | 规格 |
| 直径 | 50.8+-0.05 |
| 定位边长 | 16.0+-1.0 |
| 厚度 | 430+-10um |
| 晶向 |
C轴(0001)0.2°+-0.05° |
| 总厚度偏差 | <=5um |
| 翘曲度 | +-7um |
| 定位边方向 | A轴(11-20)0.0°+-0.20° |
| 表面粗糙度 | <=0.3nm |
| 背面粗糙度 | 0.7+-0.2um |