全自动型晶片平面度测量仪:UltraSort 150/200,有安装调试服务。
1) 精度0.05um
2) 重复性0.015um
3) 测试点数:23万
4) 测量时间:5~8秒/片
5) 可测量参数:BOW,WARP,TTV,LTV,Thickness
6) 可测量尺寸:2’’~8’’
7) 可测量材料:化合物半导体(蓝宝石,SiC,砷化镓等)
8) SEMI&ASTM认证,标配NIST校验片
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全自动型晶片平面度测量仪:UltraSort 150/200,有安装调试服务。
1) 精度0.05um
2) 重复性0.015um
3) 测试点数:23万
4) 测量时间:5~8秒/片
5) 可测量参数:BOW,WARP,TTV,LTV,Thickness
6) 可测量尺寸:2’’~8’’
7) 可测量材料:化合物半导体(蓝宝石,SiC,砷化镓等)
8) SEMI&ASTM认证,标配NIST校验片