URE-2000系列光刻机
型号：17
一. 技术特征
1、采用多反射镜实现均匀照明；
2、采用球气浮找平，调平精度高；
3、高倍率双目双视场显微镜和19英寸宽屏液晶显示同时观察对准过程，
2、采用球气浮找平，调平精度高；
3、高倍率双目双视场显微镜和19英寸宽屏液晶显示同时观察对准过程，
并提供USB输出；既满足高精度对准，又可用于检测曝光结果，且曝光
结果和方便存储；
4、曝光波长采用纯净365nm,冷光照明（曝光面能量5mW/cm ，温度小于35度）
5、手动上下版、样片，手动调平；手动分离间隙。
6、快门可以单独开启，也可以数字设定自动倒计时曝光（设定范围0.1s-9999s）
7、采用200W进口（德国）直流汞灯，可调节光的能量密度；设备外形美观精制
4、曝光波长采用纯净365nm,冷光照明（曝光面能量5mW/cm ，温度小于35度）
5、手动上下版、样片，手动调平；手动分离间隙。
6、快门可以单独开启，也可以数字设定自动倒计时曝光（设定范围0.1s-9999s）
7、采用200W进口（德国）直流汞灯，可调节光的能量密度；设备外形美观精制
性能非常可靠
二、主要技术指标：
1、曝光面积：ф100mm；
2、分辨力： 1.7µm（胶厚2 µm的正胶）；
3、对准精度： ±1µm；
4、掩模样片整体运动范围：X：6mm;Y:6mm；
5、掩模尺寸：2.5 inch、3 inch、4 inch、5 inch；
6、样片尺寸：直径ф15mm-- ф100mm、
厚度0.1mm--6mm(可扩展为15mm)；
7、照明均匀性：±6%（ф100mm 范围）；
8、掩模相对于样片运动行程：X: ±5mm; Y: ±5mm; θ: ±6°；
9、汞灯功率：200W（直流）；
10、曝光波长：365nml
11、曝光能量密度：6mW/cm (420nm以上波长小于0.2mW/cm )l
12、曝光方式：定时（到计时方式）
13、外形尺寸：650mm（长）´600mm(宽)´900mm（高）
1、曝光面积：ф100mm；
2、分辨力： 1.7µm（胶厚2 µm的正胶）；
3、对准精度： ±1µm；
4、掩模样片整体运动范围：X：6mm;Y:6mm；
5、掩模尺寸：2.5 inch、3 inch、4 inch、5 inch；
6、样片尺寸：直径ф15mm-- ф100mm、
厚度0.1mm--6mm(可扩展为15mm)；
7、照明均匀性：±6%（ф100mm 范围）；
8、掩模相对于样片运动行程：X: ±5mm; Y: ±5mm; θ: ±6°；
9、汞灯功率：200W（直流）；
10、曝光波长：365nml
11、曝光能量密度：6mW/cm (420nm以上波长小于0.2mW/cm )l
12、曝光方式：定时（到计时方式）
13、外形尺寸：650mm（长）´600mm(宽)´900mm（高）
