LED照明产业在制造和测试设备方面,一是MOCVD设备。目前全国有17家企业从事该研发工作,部分单位已有外延初步结果。国际上有两家大的企业,其方向是大型化、高效化。
二,是衬底制造设备。兰宝石长晶设备、碳化硅长晶设备已有较大进展,GaN长晶设备还需加强。
三,是芯片制造设备。如光刻机、激光划片机、离子束镀膜机、离子刻蚀机、芯片自动检测机等。
四,是器件封装自动化设备。全自动固晶机、全自动焊线机、全自动点胶机、自动编带机等。
五,是LED光源、灯具自动化制造设备。如自动贴片机、回流焊机、光源或灯具自动化生产线。
六,是测试设备。芯片自动测试仪、光荧光谱测试仪、载流子浓度测试仪,载流子浓度纵向分布测试仪、测厚仪,LED器件光、色、电综合测试仪,LED加速老化和寿命测试仪等,LED自动点胶机,LED荧光粉点胶机,LED大功率点胶机,LED螺杆式点胶机等。