LED蓝宝石衬底
项目 Item 规格 Specifications
晶向 Orientation C-plane(0001)±0.1°
直径 Dismeter 50.8±0.1mm
厚度 Thickness 330μm/430μm±25μm
材料 Material 高纯度（> 99.996%）
单晶Al2O3
总厚度偏差 TTV ＜5μm
翘曲度 BOW ＜5μm
定位面方向
Primary Flat Location A-plane（11-20）±0.5 °
定位边长
Primary Flat Length 16±1.0mm
正面
Front Surface epi-ready polished
（外延开盒即用）
表面粗糙度
Surface Roughness Ra≤0.3nm
包装 Package 洁净室内真空冲氮包装
