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用途
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等离子清洗、刻蚀、活化、改性
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技术参数
>> 设备外形尺寸:(不包括报警灯) 950(W)×1100(D)×1850(H)mm
>> 真空仓体尺寸:(约200升) 550(W)×700(D)×530(H)mm
>> 仓体结构:(不锈钢材质) 13层铝合金放电电极,阳极氧化处理
>> 等离子发生器: 美国COMDEL射频电源,功率0-1250W连续调节,自动阻抗匹配，全电路保护，可连续长时间工作。
>> 控制系统: PLC触摸屏全自动控制，采用欧姆龙、施耐德等进口品牌电器元件,有手动、自动两种控制模式，12”真彩触摸屏，西门子可编程控制器，可在线设定、修改、监控真空压力、处理时间、气体流量、等离子功率等工艺参数，并具有故障报警、工艺存储、密码锁定、系统维护等多种功能。
>> 真空系统: 前级, 德国莱宝旋片真空 ; 二级, 德国莱宝罗茨真空; 台湾气动角阀、充气阀、德国英福康高精度真空计、传感器。
>> 充气系统: 美国AE高精度电子质量流量计(两路气体配制)、针阀 美国世伟洛克气体管路及接口组件,德国双级减压阀,日本SMC及CKD高真空气阀组件。
