■产品概述
热解氮化硼（PBN）是特种陶瓷材料，是本公司在特殊设备上用化学气相沉积的工艺制得的。热解氮化硼的沉积过程，宛如“落雪”：氮化硼的六角型小雪片，一片一片的平行地落在石墨基体材料上，达到一定厚度后，最终冷却脱模而制成。
■产品规格：
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类 型
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类 别
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最 大 尺 寸
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坩埚类
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LEC
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12inch
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VGF
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8 inch
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MBE
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2 inch
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电子束源
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板材类
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圆 片
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12 inch
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夹持杆
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舟皿类
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长舟
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20inch
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圆碟
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12inch
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典型涂层类
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蒸发舟
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MOVCD基座
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MOVPE
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■主要特点：
● 产品颜色在牙白至橙棕，无毒、无孔隙、易加工。
● 纯度高达99.99％，表面致密，气密性好。
● 耐高温，强度随温度升高，2200℃达到最大值。
● 耐酸、碱、盐及有机试剂，高温与绝大多数熔融金属、半导体等材料不湿润、不反应。
● 抗热震性好，热导性好，热膨胀系数低。
● 电阻高，介电强度高，介电常数小，磁损耗角正切低，并具有良好的透微波和红外线性能。
● 在力学、热学、电学等等性能上有着明显的各向异性。
■产品应用
● 半导体单晶及III－V族化合物合成用的坩埚、基座：
原位合成GaAs 、InP 、GaP单晶的LEC系列坩埚。
分子束外延用的MBE系列坩埚。
VGF、VB法系列坩埚。
● 电子束源用的系列坩埚。
● 石英坩埚及舟皿等石墨器具上的涂层。
● MOCVD绝缘板。
● 金属熔炼蒸发坩埚等。
■主要参数:
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性能
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单位
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数值
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晶格常数
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μ m
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a:2.504×10-10 c:6.692×10-10
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表观密度
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g/cm3
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2.10－2.15(板材) 2.15－2.19(坩锅)
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氦透过率
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cm3/s
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1×10－10
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显微硬度(Knoop)(ab平面)
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N/mm2
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691.88
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体积电阻系数
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Ω·cm
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3.11×1011
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抗张强度 (力|| “C”)
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N/mm2
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153.86
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抗弯强度
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(力|| “C”)
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N/mm2
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243.63
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(力⊥ “C”)
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N/mm2
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197.76
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弹性模量
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N/mm2
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235690
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热传导率
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W/m·k
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“a”方向 “c”方向
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(200℃)
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W/m·k
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60 2.60
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(900℃)
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W/m·k
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43.70 2.80
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介电强度(室温)
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KV/mm
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56
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