全自动型晶片平面度测量仪：UltraSort 150/200，有安装调试服务。
1） 精度0.05um
2） 重复性0.015um
3） 测试点数：23万
4） 测量时间：5~8秒/片
5） 可测量参数：BOW,WARP,TTV,LTV,Thickness
6） 可测量尺寸：2’’~8’’
7） 可测量材料：化合物半导体（蓝宝石，SiC，砷化镓等）
8） SEMI&ASTM认证，标配NIST校验片
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全自动型晶片平面度测量仪：UltraSort 150/200，有安装调试服务。
1） 精度0.05um
2） 重复性0.015um
3） 测试点数：23万
4） 测量时间：5~8秒/片
5） 可测量参数：BOW,WARP,TTV,LTV,Thickness
6） 可测量尺寸：2’’~8’’
7） 可测量材料：化合物半导体（蓝宝石，SiC，砷化镓等）
8） SEMI&ASTM认证，标配NIST校验片
