KS-C200
模块化匀胶显影机
用于晶片涂胶和显影，满足0.25 m工艺制程。
1. 模块化结构，柔性工艺。
2. 全自动晶片传输，高效，可靠。
3. 动态图像人机界面，操作和维护方便。
4. 具备故障诊断和历史追忆功能。
技术指标：
晶片尺寸：Ф100mm～Ф200mm
匀胶单元：Max.4个独立滴胶嘴
显影单元：柱状/雾状两种喷嘴
热盘单元：渐近式烘焙，50℃-180℃
冷盘单元：电子制冷
可选单元：光刻胶、显影液温控，WEE，MFC，SMIF，
THC，FFU，Auto Chemical Supply etc.
外型尺寸：H2060×W2260×D1510 (mm)
