匀胶机（Spin Coater）KW-4A

KW—4A型匀胶机适用于微电子、半导体、制版、新能源、生物材料、光学及表面涂覆等工艺，主要应用于溶胶-凝胶（sol-gel）实验中的薄膜制作，其工作原理是高速旋转基片，利用离心力使滴在基片上的胶液均匀的涂布在基片上，厚度视不同胶液和基片间的粘滞系数而不同，也和旋转速度及时间有关。可在工矿企业、科研、教育等单位作生产、科研、教学之用。

★ 本机具有以下特点：

 1．电机励磁和电枢分开供电。励磁用12伏直流稳压电源供电，电枢用运放控制IRF830调速，它比可控硅调速优越，故其转速在500—8000转/分范围内非常稳定。

2．本匀胶机有两档转速。在启动之后，先以低速运转，然后自动变到高速运转。两档速度及运行时间分别可调。

3．本匀胶机采用光电检测，数字电路测速，对电机的转速检测快速准确。电机稳速方面采用了光电隔离的精密负反馈电路，使整机在高达8000RPM以上转速时仍十分稳定，有力的保证了匀胶质量。

4．“吸片”采用电子开关控制电磁阀完成气路通断，这样适合流水线工艺，一个气可同时带几台匀胶机工作，提高效率。

5．匀胶机定时采用可调定时电路控制，面板上调节Timer旋钮即可改变匀胶时间。

6．在安装结构上，采取了减震措施，因而匀胶机在运转时噪音很低。

7．电磁阀与电机运行有连锁功能，电磁阀未动作不能启动电机运行，本次匀胶电机未停不能进行下次匀胶，若运行中误按“CONTROL”键也不能停止吸气，即不会产生跑片。

由于采用了以上一系列措施，故本机具有很高的转速稳定性和快速启动性，可以保证涂覆表面均匀，并可通过调节转速调节涂覆厚度。

技术指标：

SpeedⅠ调速范围 500—2500转/分
TimerⅠ匀胶时间 3—18秒
SpeedⅡ转速范围 800—8000转/分
TimerⅡ匀胶时间 3—60秒
转速稳定度 ±1%
电源电压（二种） 220v/ 50Hz或110v /50Hz
电机功率 40W
被镀物质尺寸 Φ8—Φ150mm
真空抽气速率 ≥60升/分