品牌：德国FinalPlasma
型号：REG-2006
德国FinalPlasma REG-2006等离子清洗机是一款自动化等离子系统，REG-2006等离子清洗机真空舱由不锈钢建造，极板的间距通过不锈钢支架以每10mm为单位，上下自由调整。独立的13.56MHz射频（RF）电源及自动匹配器，保证了300瓦射频电源最大化输入至真空舱。PE & RIE模式下极板极性可以从触摸屏上设定，该系统设备满足实验室及行业小规模生产要求，广泛应用于半导体行业、小规模生产、研发中心及机构、材料科学、分析（TEM,SEM）、塑料行业、等离子灭菌等其它行业。
一、技术参数：
1.1 真空室尺寸：250mm×250mm×250mm
1.2 极板尺寸：200mm×200mm
1.3 极板电极数量：2个
1.4 极板数量：2个
1.5 极板极性：触摸屏上电切换；
1.6 极板电源：射频300W(自动匹配)；
1.7 电源频率：13.56 (MHz)；
1.8 流量计数量：3 台
1.9 流量计规格：玻璃、手动（100ccm/min）；
2、安装技术条件：
2.1 额定输入电压：单相220V 50HZ (电压误差不大于±10%)；
2. 2 设备总功率：1 KW
2.3 设备电源插头规格：16A 3线
2.4 工作环境：环境空气中不得含有灰尘、酸、盐和腐蚀性气体；环境温度处在200C以下时，相对湿度不得大于90%，工作环境温度处在350C，相对湿度不得大于50%。机器安装场所应通风、清洁，无烟雾污染。
型号：REG-2006 标准配置：
射频电源300W@13.56MHz ，等离子刻蚀模式，阳极氧化铝舱，6 X 6英寸电极，标准流量控制；
选配：反应离子刻蚀模式、双等离子刻蚀 & 反应离子刻蚀模式、不锈钢舱；
型号：REG-2008 标准配置：
射频电源300W@13.56MHz ，等离子刻蚀模式、阳极氧化铝舱， 8 X 8英寸电极，标准流量控制；
选配：反应离子刻蚀模式、双等离子刻蚀 & 反应离子刻蚀模式，不锈钢舱；
型号：REG-2010标准配置：
射频电源300W@13.56MHz，双等离子刻蚀 & 反应离子刻蚀模式，阳极氧化铝舱，10 X 10英寸电极，标准流量控制：
选配：射频电源600W@13.56MHz，不锈钢舱；
二、德国FinalPlasma 等离子清洗机的应用范围：
* 清洗电子元件、光学器件、激光器件、镀膜基片、芯片。
* 清洗光学镜片、电子显微镜片等多种镜片和载片。
* 移除光学元件、半导体元件等表面的光阻物质。
* 清洗ATR元件、各种形状的人工晶体、天然晶体和宝石。
* 清洗半导体元件、印刷线路板。
* 清洗生物芯片、微流控芯片、有机聚合物、PDMS。
* 清洗沉积凝胶的基片。
* 高分子材料表面修饰。
* 牙科材料、人造移植物、医疗器械的消毒和杀菌。
* 改善粘接光学元件、光纤、生物医学材料、宇航材料等所用胶水的粘和力。
三、德国FinalPlasma 等离子清洗机的功能：
1. 对金属、玻璃、硅片、陶瓷、塑料、聚合物表面的有机污染物 （如石蜡、油污、脱膜剂、蛋白等）进行超清洗。
2. 改变某些材料表面的性能。
3. 使玻璃、塑料、陶瓷等材料表面活化，加强这些材料的粘附性、相容性和浸润性。
4. 清除金属材料表面的氧化层。
5. 对被清洗物进行消毒、杀菌。
四、德国FinalPlasma 等离子清洗机的优点：
1. 完全彻底地清除表面有机污染物。
2. 清洗快速、操作简便、使用和维护成本极低。
3. 非破坏性、对被清洗物表面光洁度无损害。
4. 绿色环保、不使用化学溶剂、无二次污染。
5. 常温条件下清洗，被清洗物的温度变化微小。
6. 能清洗各种几何形状、粗糙程度各异的表面。
