大多数LED芯片制作工艺都以蓝宝石作为衬底,作为衬底材料,蓝宝石有以下优点:
*生产技术成熟、器件质量好。
*在高温环境中具有优秀的稳定性。
*机械强度高,易于处理和清洗。
材料: >99.999% 单晶蓝宝石 Al2O3
晶向: C-axis(0001) to M (1-100) 0.2°±0.1°
直径: 150 +/- 0.3mm
厚度:1000 +/-25um
定位边: A-Plane ± 0.1°
定位边长度: 47.5 ± 1.0mm
正面: Epi-Polished, Ra≤0.2nm
反面: Epi-Polished, Ra≤0.2nm (双抛)
Fine ground Ra=0.8-1.2um (单抛)
TTV: <20 um
BOW: <20 um
Warp : <20 um
包装:百级无尘室包装,双层白色塑料袋真空冲氮多片盒/单片盒装。