■主要特点：
● 高温抗氧化：抗氧化,温度高达1600℃时抗氧化性能仍然非常好。
● 纯度高：高温氯化条件下化学气相沉积方法制得的。
● 耐冲刷：硬度高、表面致密、颗粒细。
● 抗腐蚀性：耐酸、碱、盐及有机试剂。
■主要参数：
● SIC表面层为β－碳化硅 属面心立方。
● 晶格常数α0.434mm。
● 具有高纯度和各相异性。
● SIC涂层具有较高的热导率 80W/m·k。
● 密度在 3.15－3.20g/cm3。
● 热膨胀系数 4.8×10－6 ℃－1。
■产品应用：
● MOCVD设备中，GaN外延生长用的石墨基座涂层。
● 单晶硅外延生长用的石墨基座涂层，平板基座、圆形基座、立体基座。
● 单晶硅器件烧结炉用的石墨底盘涂层。
● 石墨加热器上的表面涂层（平板加热器、圆形加热器、筒形加热器等等）。
● 各种氧化物隧道窑中烧结用的石墨匣钵涂层。
● 粉末冶金连续烧结用的石墨基座涂层。
● SIC涂层经光学技术修磨用于太空反射镜。
