KS-C200
模块化匀胶显影机
用于晶片涂胶和显影,满足0.25 m工艺制程。
1. 模块化结构,柔性工艺。
2. 全自动晶片传输,高效,可靠。
3. 动态图像人机界面,操作和维护方便。
4. 具备故障诊断和历史追忆功能。
技术指标:
晶片尺寸:Ф100mm~Ф200mm
匀胶单元:Max.4个独立滴胶嘴
显影单元:柱状/雾状两种喷嘴
热盘单元:渐近式烘焙,50℃-180℃
冷盘单元:电子制冷
可选单元:光刻胶、显影液温控,WEE,MFC,SMIF,
THC,FFU,Auto Chemical Supply etc.
外型尺寸:H2060×W2260×D1510 (mm)