KS-L150
轨道式匀胶显影机
全封闭结构,适用于0.8 m以上工艺制程。
1. 功能模块、通道数量灵活选配。
2. 机械手传送晶片,无污染,安全可靠。
3. 具备故障诊断,历史记录追忆功能。
4. 操作界面简捷,加工程序编制、储存、编辑、修改、调用灵活。
技术指标:
晶片尺寸:Ф50mm~Ф150mm(方形基片对角线)
主轴转速:Max.5,000rpm
加 速 度:Max.50,000rpm/s
热 盘:50℃-120℃±0.6℃
120.1℃- 250℃±0.5%
可选单元:FFU,AD,CP etc.
外型尺寸:H1700×W1700×D1100 (mm)